[发明专利]光敏聚合物和含有该聚合物化学放大型的光阻剂组合物无效
| 申请号： | 03110159.3 | 申请日： | 2003-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1456580A | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | 金贤友;禹相均;郑明浩 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/26 | 分类号： | C08F220/26;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉,丁业平 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光敏聚合物，其中具有均匀分布的疏水性和亲水性部分，及含有该光敏聚合物的光阻剂组合物。光敏聚合物具有如上通式，其中R1和R2独立地为氢原子或甲基，R3为酸不稳定C4～C20烃基，R4为亲水基团，a/(a+b+c+d+e)＝0.01～0.6，b/(a+b+c+d+e)＝0.05～0.7，c/(a+b+c+d+e)＝0.01～0.6，d/(a+b+c+d+e)＝0.1～0.5，和e/(a+b+c+d+e)＝0.01～0.5。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 聚合物 含有 化学 大型 光阻剂 组合 | ||
【主权项】：
1.具有如下通式的光敏聚合物：其中R1和R2独立地为氢原子或甲基，R3为酸不稳定C4～C20的烃基，R4为亲水基团，a/(a+b+c+d+e)＝0.01～0.6，b/(a+b+c+d+e)＝0.05～0.7，c/(a+b+c+d+e)＝0.01～0.6，d/(a+b+c+d+e)＝0.1～0.5，和e/(a+b+c+d+e)＝0.01～0.5。
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