[发明专利]位移信息检测装置

摘要

一种位移信息检测装置，其结构为：使来自光源单元的可干涉光束照射到相对移动的衍射光栅刻度上、发生2个不同次数的衍射光，由圆弧或圆环状的曲线不等间距地排列成格子状的衍射光栅使该2个衍射光发生衍射偏转，再次照射到该衍射光栅刻度上，再次发生衍射，使这些衍射光相互重叠而发生干涉，将该干涉光导引到受光元件上，检测伴随该衍射光栅刻度的相对移动的周期信号。

主权项

1.一种位移信息检测装置，其特征在于包括：可以相对移动的衍射光栅刻度；用可干涉光束照射上述衍射光栅刻度的照明单元，和具有以不等间距排列的圆弧状或圆环状的曲线的衍射光栅，配置所述衍射光栅使从上述衍射光栅刻度发生的2个不同阶次的衍射光发生衍射偏转、以使之再次照射上述衍射光栅刻度。