[发明专利]一种连续SiC纤维增强Ti合金基复合材料先驱丝的制备方法无效
| 申请号： | 03110902.0 | 申请日： | 2003-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1519390A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 王玉敏;符跃春;石南林;张德志;杨锐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C22C47/18 | 分类号： | C22C47/18;C22C47/20;C22C49/11 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种连续SiC纤维增强Ti合金基复合材料先驱丝的制备方法。它以连续SiC纤维为基体，先对基体表面进行清洁处理，然后将基体缠绕在以Ti合金为靶材的样品架上；放入真空室，先预抽真空，再通入氩气；旋转基体，对基体进行预热；对所述预热后基体进行磁控溅射；其工艺参数为：预抽真空使真空度至3.0×10－4Pa～3.0×10－5Pa；通入氩气，使真空度达到10－2Pa～10Pa之间；基体运动速度为5转/分钟～30转/分钟；基体温度控制在25℃～500℃之间；磁控溅射功率为2000W～4000W；靶－基距为30mm～70mm。采用本发明镀层厚度均匀，镀层与基体的结合力强，性能高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 sic 纤维 增强 ti 合金 复合材料 先驱 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种连续SiC纤维增强Ti合金基复合材料先驱丝的制备方法，其特征在于可按如下步骤操作：1)以连续SiC纤维为基体，先对基体表面进行清洁处理，然后将基体缠绕在以Ti合金为靶材的样品架上；2)放入真空室，先预抽真空，再通入氩气；旋转基体，对基体进行预热；对所述预热后基体进行磁控溅射；磁控溅射结束时，降温后取出样品；所述磁控溅射工艺参数为：预抽真空使真空度至3.0×10-4Pa～3.0×10-5Pa；通入氩气，使真空度达到10-2Pa～10Pa之间；基体运动速度为5转/分钟～30转/分钟；基体温度控制在25℃～500℃之间；磁控溅射功率为2000W～4000W；靶-基距为30mm～70mm。
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