[发明专利]用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法无效
| 申请号： | 03111917.4 | 申请日： | 2003-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1434551A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;王雪林;王克明;卢霏;胡卉 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01S3/063 | 分类号： | H01S3/063;H01S3/16 |
| 代理公司： | 济南三达专利事务所 | 代理人： | 孙君 |
| 地址： | 250100 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，主要在(Nd3+：YVO4)晶体中形成平面及条形波导和实现波导激光输出。采用能量为2.0－6.0MeV，剂量为1×1012～5×1015离子/平方厘米范围的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成平面光波导，或利用先做条形掩膜，再做磷离子注入的方法，形成钕离子掺杂钒酸钇的条形光波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，通过一定波长和功率的泵浦激光对钕离子掺杂钒酸钇平面波导或条形波导进行泵浦，输出波长为1064nm左右的红外激光。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 制备 掺杂 钒酸钇 晶体 波导 激光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，包括利用一定能量和剂量的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成光波导，然后进行热退火处理，在晶体的端面上进行激光谐振腔镀膜，通过光源泵浦，产生波长为1064纳米的波导激光。
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