[发明专利]差动离焦并行全场三维检测方法及装置无效
| 申请号： | 03112936.6 | 申请日： | 2003-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1527027A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王永红;余晓芬;俞建卫;黄其圣 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 差动离焦并行全场三维检测方法及装置，其特征是在并行全场检测中使用差动离焦探测法，并采用同光斑光强差动算法。本发明利用两只CCD探测器进行同步离焦差动探测，根据两探测器输出信号差值，便可判断物面离焦量的大小与正负。当被测物体沿轴向扫描移动时，物体上各点到焦平面的距离即可表征物体的轮廓高度。本发明能有效抑制光源噪声和漂移产生的影响，提高测量精度；可在较大采样间距下获得高的轴向分辨率，有效解决测量分辨率和测量速度之间的矛盾。 | ||
| 搜索关键词： | 差动 并行 全场 三维 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、差动离焦并行全场三维检测方法，其特征是在并行全场检测中进行差动离焦探测，并采用同光斑光强差动算法。
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