[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法及显示装置无效

专利信息
申请号: 03114037.8 申请日: 2003-03-19
公开(公告)号: CN1532945A 公开(公告)日: 2004-09-29
发明(设计)人: 赖建廷;彭家鹏;陈永昌 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;G02F1/136;H01L21/336
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种薄膜晶体管,包括一基底、一在该基底中形成的栅极、一在该基底和栅极上形成的栅极绝缘层、一在该栅极绝缘层上形成的通道层、在该通道层两侧上分立形成的源极欧姆层和漏极欧姆层、在该源极欧姆层和该基底上形成的源极、在该漏极欧姆层和该基底上形成的漏极。
搜索关键词: 薄膜晶体管 及其 制造 方法 显示装置
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,其包括:一基底,一栅极,一在该基底和栅极上形成的栅极绝缘层,一在该栅极绝缘层上形成的通道层,在该通道层两侧上分立形成的源极欧姆层和漏极欧姆层,在该源极欧姆层和该基底上形成的源极,在该漏极欧姆层和该基底上形成的漏极,其特征在于该栅极位于该基底中。
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