[发明专利]模仁及其加工方法无效
| 申请号： | 03114059.9 | 申请日： | 2003-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1533862A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 余泰成;吕昌岳;陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/24 | 分类号： | B23P15/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种模仁及其加工方法，该加工方法包括以下步骤：提供一基板；利用多次光刻及化学蚀刻制程在该基板上形成多个阶梯式多阶圆槽。利用由增加使用光罩次数，本方法可在基板上形成近似圆弧形凹面的阶梯式多阶圆槽。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种模仁，其包括一基板，其特征在于：该模仁进一步包括多个阶梯式多阶圆槽，其位于该基板。
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