[发明专利]一种纳米级蓝宝石衬底的加工方法及其专用抛光液

摘要

本发明涉及半导体器件的加工方法技术领域，尤其是一种高亮度蓝色发光二极管(HB－LED)管芯所用的蓝宝石衬底的加工方法；本发明还涉及高亮度发光二极管(HB－LED)管芯所用的蓝宝石衬底的加工方法专用的抛光液。其中，蓝宝石衬底加工方法由粘片、粗磨、细磨、粗抛、精抛几个步骤组成；所述的纳米抛光液则由纳米硅粉、乙二醇、甘油、乙醇氨以及去离子水构成；当上述加工步骤和纳米抛光液配合使用时，可以大大提高蓝宝石衬底的表面光洁度、降低其表面粗糙度，消除应力，达到镜面抛光效果，从而降低刀具损耗，提高刀具的使用寿命，节约生产成本和提高产品的合格率。另外，纳米抛光液与普通的微米级抛光液相比，还可大大缩短抛光周期，从而又达到提高劳动生产率的目的。

主权项

1.一种纳米级蓝宝石衬底的加工方法，其特征在于：它由如下步骤构成：(1)粘片，根据蓝宝石衬底的特点，利用粘片设备将其长有器件的一面粘贴在玻璃片上，以便于研磨时真空吸附在磨头上，保证芯片粘接的稳定性；(2)粗磨，在压力为1.5Kg～4.5Kg，温度为22℃±2℃的条件下，利用粗磨机将蓝宝石衬底的厚度由330～450微米减薄至120微米左右、粗糙度为2.0微米左右；(3)细磨，在压力为1.5Kg～4.5Kg，温度为22℃±2℃的条件下，利用细磨机将蓝宝石衬底由120微米的厚度减薄至90～95微米、粗糙度为0.5微米左右，厚度均匀性在2.0微米以内；(4)粗抛，在压力为1.5Kg～4.5Kg，温度为22℃±2℃的条件下，利用粗抛机和纳米抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，使其粗糙度达到0.1微米左右，厚度的均匀性在1.0微米以内；(5)精抛，在压力为1.5Kg～4.5Kg，温度为22℃±2℃的条件下，利用精抛机和纳米抛光液对蓝宝石衬底进行抛光，使蓝宝石衬底的表面粗糙度达到20纳米以下、高光洁度(镜面效果)、无应力(无翘曲、无变形)。