[发明专利]电子薄膜材料生长的加热器有效
| 申请号： | 03114636.8 | 申请日： | 2003-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN1443869A | 公开（公告）日： | 2003-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陈治明;李留臣;呼刚义 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 汪人和 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子薄膜加热器，特别是用于新型电子薄膜材料生长系统的加热器。由支撑挂、加热灯管和两个环形电极组合而成，发热体为碘钨灯管，加热灯管固定在两个环形电极上，两个环形电极上对称设置有若干个加热灯管安装槽，加热灯管安装在槽内并通过螺钉压紧，外层安装一个反光罩，组成灯光照射式加热器。灯管与电极之间的安装采用快装“L”型槽和螺钉压紧式结构，方便可靠。本发明具有结构简单，制造安装方便，更换灯管快捷，尤其是加热器内还可以置有一个真空室，真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体，即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快，加热均匀，维修简单的特点，广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 薄膜 材料 生长 加热器 | ||
【主权项】：
1、一种电子薄膜材料生长的加热器，包括一个调压控制器，调压控制器与接线柱(1、9)连接，其特征在于还包括接线柱(1、9)分别与环形电极(2、7)相连，环形电极(2、7)通过支撑柱(5)、绝缘套(6)、螺母(8)互连为一体，环形电极(2、7)上设置有加热灯管安装槽(10)，并通过螺钉(3)压紧，加热灯管(4)外设有反光罩(12)，反光罩(12)与绝缘密封圈(11)固定连接。
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