[发明专利]一种自适应自抱紧式密封装置

摘要

本发明涉及一种自适应自抱紧式密封装置，包括圆柱管，圆柱管两端连接法兰盘，法兰盘内侧与圆柱管的端面之间设有缓冲垫，其中右法兰盘还连接有金属过渡室，金属过渡室中部一侧连接真空传感器，另一侧设真空抽气口，金属过渡室端面设密封圈，通过螺钉用盖板压紧，圆柱管外径上设感应加热线圈，真空室内置有工件，本发明的贡献在于两端法兰盘的左、右面设计为锥形密封槽，锥形密封槽底部与圆柱管外径处置有密封圈，用锥形压紧环并通过螺钉将密封圈连接为一体。本发明具有结构简单，制造安装方便，不易损害石英管，安全可靠，广泛应用于新型电子薄膜材料生长系统的真空密封，也可应用于高压密封系统的密封，此时只需改变锥形密封槽的方向即可。

主权项

1、一种自适应自抱紧式密封装置，包括圆柱管(3)，在圆柱管(3)的两端连接有法兰盘(1)，法兰盘(1)的内侧与圆柱管(3)的端面之间设有缓冲垫(2)，其中右法兰盘(1)还连接有金属过渡室(7)，金属过渡室(7)中部的一侧连接有真空传感器(8)，另一侧设有真空抽气口(11)，金属过渡室(7)的端面设密封圈(9)，通过螺钉用盖板(10)压紧，在圆柱管(3)的外径上设有感应加热线圈(12)，真空室内置有工件(13)，其特征在于两端法兰盘(1)的左、右面设计为锥形密封槽断面，在锥形密封槽断面的底部与圆柱管(3)外径处置有密封圈(6)，用锥形压紧环(4)并通过紧固螺钉(5)将密封圈(6)连接为一体。