[发明专利]磁悬浮式微运动系统

摘要

本发明公开了一种磁悬浮式微运动系统，它包括激光纳米微位移和微角度测量仪，两块测量镜，运动平台，激光外差纳米干涉仪，四块永磁阵列，四组定子绕组，三个电容传感器，数模转换器，计算机，模数转换器。在电容传感器、激光纳米微位移和微角度测量仪、激光外差纳米干涉仪的精密测量与控制下，运动平台由嵌入在运动平台底面的永磁阵列与相应的定子绕组之间产生的电磁力的相互作用而浮起和产生6个自由度的纳米级运动。本发明主要适用于微光机电技术、纳米技术、集成电路芯片制造技术、生物技术等领域所涉及的纳米级大范围运动领域。

主权项

1.磁悬浮式微运动系统，其特征在于它包括激光纳米微位移和微角度测量仪(1)，两块测量镜(2、4)，运动平台(3)，激光外差纳米干涉仪(5)，四块永磁阵列(8、19、6、14)，四组定子绕组(9、18、7、13)，三个电容传感器(10、11、12)，数模转换器(15)，计算机(16)，模数转换器(17)；在运动平台(3)四边的底部分别嵌入第一永磁阵列(8)、第二永磁阵列(19)、第三永磁阵列(6)、第四永磁阵列(14)，第一、二永磁阵列(8、19)相对应，第三、四永磁阵列(6、14)相对应，在第一、二永磁阵列(8、19)下面分别装有第一、二定子绕组(9、18)，在第三、四永磁阵列(6、14)下面分别装有第三、四定子绕组(7、13)，装有第二永磁阵列(19)运动平台(3)的侧面镶有第一块测量镜(2)，与第一块测量镜(2)相对应的装有激光纳米微位移和微角度测量仪(1)，装有第三永磁阵列(6)运动平台(3)的侧面镶有第二块测量镜(4)，与第二块测量镜(4)相对应的装有激光外差纳米干涉仪(5)，在运动平台(3)下面装有成三角形布置的第一、二、三电容传感器(10、11、12)，计算机(16)通过数模转换器(15)分别与第一、二、三、四定子绕组(9、18、7、13)相连；激光纳米微位移和微角度测量仪(1)，激光外差纳米干涉仪(5)，第一、二、三电容传感器(10、11、12)分别通过模数转换器(17)与计算机相连。