[发明专利]一种基于脊型光波导的多模干涉耦合器

摘要

本发明公开了一种基于脊型光波导的多模干涉耦合器，包括至少一条输入波导、一个MMI区域和至少一条输出波导，输入波导通过MMI区域与输出波导连接。至少一条输入波导从输入到输出由浅刻蚀区域、taper区域组成。MMI区域为深刻蚀区域。至少一条输出波导从输入到输出由taper区域、浅刻蚀区域组成。还可以在taper波导区域和MMI深刻蚀区域之间连有深刻蚀波导区域。本发明解决了垂直方向的多模干涉问题，解决了传统MMI耦合器存在的插入损耗、通道均匀性等问题。具有以下优点：便于与其他集成光波导器件连接，提高了自成像的质量。弯曲部分可为深刻蚀，从而减小了器件尺寸，提高了集成度。

主权项

1.一种基于脊型光波导的多模干涉耦合器，包括至少一条输入波导、一个MMI区域和至少一条输出波导，输入波导通过MMI区域与输出波导连接；其特征在于至少一条输入波导从输入到输出由浅刻蚀区域(8)、taper区域(9)组成；MMI区域为深刻蚀区域(11)；至少一条输出波导从输入到输出由taper区域(13)、浅刻蚀区域(14)组成。