[发明专利]锗酸镓锶压电晶体的坩埚下降法生长方法无效
申请号: | 03115421.2 | 申请日: | 2003-02-14 |
公开(公告)号: | CN1434152A | 公开(公告)日: | 2003-08-06 |
发明(设计)人: | 徐家跃;周娟;武安华;华王祥;林雅芳;陆宝亮;童健;范世 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/32 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种锗酸镓锶晶体的坩埚下降法生长方法,属于单晶生长领域。特征在于:初始原料按Sr3Ga2Ge4O14的化学组成均匀混合,在1130-1180℃预烧8-12小时,通过固相反应以去除CO2;将取向确定的籽晶放在坩埚底部,再装入合成好的原料,然后将坩埚置于下降法生长炉中;在1400-1500℃以上熔化原料及籽晶顶部,生长界面温梯维持在30~40℃/cm,坩埚下降速度小于3mm/h。本方法温场稳定,工艺设备简单,操作方便,可将单只或多只坩埚放入下降炉内,同时生长不同形状和尺寸的单晶。 | ||
搜索关键词: | 锗酸镓锶 压电 晶体 坩埚 下降 生长 方法 | ||
【主权项】:
1.一种锗酸镓锶压电晶体的坩埚下降法生长方法,包括粉料的预烧合成、接种生长,其特征在于:(1)初始原料SrCO3、GeO2和Ga2O3,按Sr3Ga2Ge4O14化学式配料混合均匀;(2)混合粉料在1130-1180℃经8-12小时固相反应;(3)将晶种和合成料先后放入铂坩埚,并密封坩埚;(4)坩埚置于下降炉内接种、生长,炉温控制在1400-1500℃,生长界面温度梯度为30~40℃/cm,坩埚下降速率≤3mm/h。
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