[发明专利]氧化钒薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种溶胶－凝胶制备氧化钒薄膜材料的方法，其特征在于它用乙酰丙酮氧钒替代了五价钒的醇氧盐(VO(Opr)3)，使制备好的溶胶稳定性好，可以长期存放，多次使用。另外此溶胶毒性相对较小，有利于操作人员的健康。用该溶胶可以方便地制备出性质均一、具有高度择优取向性的氧化钒薄膜。

主权项

1.一种氧化钒薄膜材料的制备方法，包括前驱体溶液的配制，匀胶甩胶，其特征在于该制备方法如下：(1)前驱体溶液的配制：A.在室温下，将分析纯或优级纯乙酰丙酮氧钒溶解在过量甲醇中，如果要制备掺杂的氧化钒薄膜，则同时溶入相应量的所需元素的盐类，并使甲醇适量挥发至钒的摩尔浓度为0.125mol/l；B.用≤0.2μm注射过滤器滤去溶液中的细微不溶颗粒，以防止其对薄膜造成污染，用磁力搅拌器将过滤后的溶液缓慢搅拌24小时，令其充分水解，然后密封放置陈化三天以上，即得到适于匀胶的透明、均匀的前驱体溶胶；(2)薄膜材料的制备：将配制好的前驱体溶胶滴到基片上，用匀胶机甩胶，转速3000-3500转/分钟，时间20-25秒；匀胶后，将前驱体膜与基片一起放在70℃-80℃烘箱中烘烤20-30分钟，以除去多余溶剂；并重复匀胶和烘烤过程多次，直至达到所需的薄膜厚度为止；然后将薄膜与基片一起放在氮气氛炉中，在550℃-650℃的温度下热处理15-30分钟，即得到均一的氧化钒薄膜。