[发明专利]一种高沉积速率制备锂离子固体电解质薄膜的方法无效
| 申请号： | 03115668.1 | 申请日： | 2003-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1447475A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 傅正文;秦启宗;赵胜利;刘文元 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01M10/38 | 分类号： | H01M10/38;C23C14/08;C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高沉积速率制备锂离子固体电解质薄膜的方法。它采用脉冲激光沉积法与氮离子源发生器相结合制备氮化的Li3PO4薄膜，简称锂磷氧氮(LiPON)，沉积速率快，每小时可达0.8～2.0μm。采用本发明制备的锂磷氧氮薄膜，其Li离子传导率可达2～5×10－6s/cm。结合V2O5和MoO3等其它薄膜电极与热蒸发制备的金属锂薄膜电极可组装成全固态薄膜锂离子电池，该电池具有良好的充放电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 速率 制备 锂离子 固体 电解质 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种锂离子固体电解质薄膜的制备方法，其特征在于采用冲激光沉积法与氮离子源发生器相结合，沉积锂磷氧氮薄膜材料，沉积过程在不锈钢反应室进行，采用脉冲激光沉积薄膜系统，具体步骤如下：采用紫外或可见脉冲激光烧蚀Li3PO4薄靶材料，激光能量密度为2～5J/cm2；采用电子回旋共振(ECR)或离子偶合等离子(ICP)方法产生氮离子或原子自由基，电子回旋共振(ECR)或离子偶合等离子(ICP)的工作功率大于200瓦；由一针阀控制通入反应室的高纯氮气体流量；薄膜沉积在基片上，基片与靶的距离为2～5cm，沉积时基片温度为室温。
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