[发明专利]一种能够大面积制备锂离子固体电解质薄膜的方法无效
| 申请号： | 03115669.X | 申请日： | 2003-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1447473A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 傅正文;秦启宗;刘文元;赵胜利 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01M10/02 | 分类号： | H01M10/02;H01M10/38;C23C14/22;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能够大面积制备锂离子固体电解质薄膜的方法。它采用电子束加热方法与氮离子源发生器相结合，沉积锂磷氧氮(LiPON)薄膜。与射频磁控溅射等方法相比，沉积面积大近10倍。由本方法制备的锂磷氧氮薄膜，其Li离子传导率可达2～5×10－6s/cm。结合Ag0.5V2O5等薄膜电极与热蒸发制备的金属锂薄膜电极可组装成全固态薄膜锂离子电池，该电池具有良好的充放电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 大面积 制备 锂离子 固体 电解质 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种锂离子固体电解质薄膜的制备方法，其特征在于采用电子束加热方法与氮离子源发生器相结合，沉积锂磷氧氮薄膜材料，沉积过程在电子束蒸发系统上进行，具体步骤如下：用分子泵将真空室的气压抽到10-3Pa；在该真空室同时配有离子偶合等离子(ICP)或电子回旋共振(ECR)，工作功率大于150瓦，由一针阀控制通入离子偶合等离子腔的高纯氮气体流量，使产生的氮等离子体自由扩散到蒸发真空室，扩散口的方向正对沉积基片上；使真空反应室的气压保持在10-2Pa；用电子束加热蒸发LiPO3薄膜，蒸发时，电子枪输出的功率为200～6000瓦，基片与LiPO3靶距离为30～50厘米，沉积速率控制在每小时0.2～0.6μm。
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