[发明专利]双盘连接基片装置及使用方法无效
| 申请号： | 03115810.2 | 申请日： | 2003-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1446942A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王英剑;葛建忠;贺洪波;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置及使用方法，该装置由固定盘、外接盘和基片盖板构成，该固定盘的中心开有一轴套孔，该固定盘的边缘设有N个不穿透的螺孔；该外接盘的边缘与固定盘的螺孔相对应处也开设N个尺寸相同的通孔，其中N为大于2的正整数；该外接盘依据基片的大小和形状开设一基片槽；基片盖板与基片槽相对应配套，该基片槽和基片盖板的相同部位分别开设有螺孔和通孔。采用本发明使Veeco射频离子束溅射镀膜机的镀膜面积由原来的68cm2扩大到660cm2；避免了对基片特殊形状的苛刻要求，减少了基片的浪费，节约了成本；本夹具装卸方便，使用灵活；尤其是外接盘，可以根据样品的不同尺寸和形状，进行有针对性的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于Veeco射频离子束溅射镀膜机的双盘连接基片装置，其特征在于它由一个固定盘(1)、外接盘(2)和基片盖板(3)构成，该固定盘(1)的中心开有一轴套孔(11)，该固定盘(1)的边缘设有N个不穿透的螺孔(12)；该外接盘(2)的边缘与固定盘(1)的螺孔(12)相对应处也开设N个尺寸相同的通孔(21)，其中N为大于2的正整数；该外接盘(2)依据基片的大小和形状开设一基片槽(22)；基片盖板(3)与基片槽(22)相对应配套，该基片槽(22)和基片盖板(3)的相同部位分别开设有螺孔(23)和通孔(31)。
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