[发明专利]一种用于发蓝光器件的晶体薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 03116011.5 | 申请日： | 2003-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1439748A | 公开（公告）日： | 2003-09-03 |
| 发明（设计）人： | 叶志镇;马德伟;黄靖云;赵炳辉 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C30B25/06 | 分类号： | C30B25/06;C23C14/08;C23C14/35;H01L33/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于发蓝光器件的Zn1－xCdxO晶体薄膜，薄膜中Cd的含量为0＜x＜0.5，其制备采用采用直流反应磁控溅射法，根据实际需要通过调节Cd的含量，可以调节Zn1－xCdxO合金薄膜禁带宽度和发光波长，发光范围从紫外光扩展到蓝光甚至绿光范围。生长的时间由所需的厚度决定。采用本发明方法生长的Zn1－xCdxO合金薄膜结晶质量良好，具有完全(002)择优取向性；并具有较好的重复性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 发蓝 器件 晶体 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于发蓝光器件的晶体薄膜，其特征在于它是Zn1-xCdxO晶体薄膜，薄膜中Cd的摩尔含量为0＜x＜0.5。
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