[发明专利]带悬挂T字形阀膜微阀的单片型单向液体微泵无效
| 申请号： | 03116069.7 | 申请日： | 2003-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1534193A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 汤玉生 | 申请（专利权）人： | 汤玉生 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 | 代理人： | 严新德 |
| 地址： | 200333上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带悬挂T字形阀膜微阀的单片型单向液体微泵，具有开启能耗低、关闭承压大的特点，并采用阳极氧化电压切换技术和单晶硅薄膜转移技术制造，且制造技术能够简便灵活地同步集成制造微泵、微阀和微沟道网络，使新设计的单片硅膜微泵结构及其制造方法便于在单片型微流体系统中应用。 | ||
| 搜索关键词： | 悬挂 字形 阀膜微阀 单片 单向 液体 | ||
【主权项】：
1、一种带悬挂T字形阀膜微阀的单片型单向液体微泵，由主衬底硅片、粘合介质、辅助衬底构成，所述的辅助衬底通过所述的粘合介质设置在所述主衬底硅片上方，其特征在于：在所述的主衬底硅片中设置有单一浅腔体，在所述的单一浅腔体两侧相对位置分别设置有入口微阀和出口微阀，所述的入口微阀与所述的出口微阀都为悬挂T字形阀膜的微阀，所述的入口微阀一侧与所述的单一浅腔体联通，在所述的入口微阀另一侧设置有入口微沟道，所述的入口微沟道制作在所述主衬底硅片中，所述的出口微阀一侧与所述的单一浅腔体连通，在所述的出口微阀的另一侧设置有出口微沟道，所述的出口微沟道制作在所述主衬底硅片中，在所述的主衬底硅片和所述辅助衬底之间设置有驱动结构，所述的驱动结构由腔体形变膜，上电极，下电极构成，所述的腔体形变膜设置在所述微阀上方，所述的下电极设置在所述腔体形变膜上方，所述的上电极设置在所述辅助衬底的下方。
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