[发明专利]一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置无效
| 申请号： | 03116276.2 | 申请日： | 2003-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1449872A | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 侯晓远;钟高余;王晓军;熊祖洪;史华忠;张松涛;何钧;丁训民 | 申请（专利权）人： | 上海复旦辰光科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 200433 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种利用微波产生紫外线/臭氧或氧等离子体，用以清除材料表面有机物、尘埃和水气污染的方法及其装置。这种方法适用于清洁绝缘体和半导体等材料的表面，特别适用于清洁导电玻璃的表面。本发明可利用普通微波炉，经改造得到微波臭氧/氧等离子体处理的装置。该装置还可以用于消毒、清除有机异味等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 微波 清洁 材料 表面 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种材料表面的清洁方法，其特征在于把需要清洁的材料置于微波辐射源和紫外光之间，由微波能量转化为紫外光能量，同时由紫外光激励产生臭氧或者由微波能量产生氧等离子体，实现对材料表面的高效清洁。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海复旦辰光科技有限公司，未经上海复旦辰光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03116276.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
