[发明专利]一种高介电材料锂磷氧氮无效
| 申请号： | 03116284.3 | 申请日： | 2003-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1450567A | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 傅正文;秦启宗;刘文元;李驰麟 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01B3/02 | 分类号： | H01B3/02;H01G4/08;H01L21/314 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新的高介电材料氮化的Li3PO4薄膜，简称锂磷氧氮(LiPON)，它具有介电性能，其介电常数在14～26之间。本发明对Al/Liipon/Si电容器的电容－电压(C－V)和电容－电流(I－V)的特性进行了测量。结果表明：Lipon薄膜是一个高的介电材料，漏电流在电场强度为107V/m时低于～10－6A/cm2，慢界面态密度在～1012cm－2，在硅禁代中央处的界面态密度估计为～1011eV－1cm－2。Al/Lipon/Al结构的等温瞬态离子流测量的结果显示了Lipon薄膜有很明显的极化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高介电 材料 锂磷氧氮 | ||
【主权项】：
1.一种高介电材料，其特征在于为玻璃态锂磷氧氮薄膜Li3PO4Nx，其介电常数为14.8～26，N的含量为7-18％。
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