[发明专利]真空蒸鍍线状掩膜的掩膜板无效
| 申请号： | 03116759.4 | 申请日： | 2003-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN1450196A | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 钟国柱;张志林 | 申请（专利权）人： | 上海航天上大欧德科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 200072 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种真空蒸镀线状掩膜的掩膜板，适用于电致发光元件的有机薄膜彩色条和金属薄膜电极的制备。它主要含有带切口的固定框架，置放在固定框架相对平行两框外侧的带定位槽和顶紧螺丝的定位柱。弹性丝通过定位柱上定位槽的定位绕成平直线组构成掩膜线。掩膜线能够通过调节两端的固定螺钉使其拉紧拉直。能够随时调节顶紧螺丝使全部掩膜线绷紧绷直。本发明的掩膜板完全克服了在先技术中存在的掩膜线松塌后，不能再使其绷紧绷直等缺陷。提高了掩膜板的精度、使用率和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 线状 掩膜板 | ||
【主权项】：
1，一种真空蒸鍍线状掩膜的掩膜板，含有固定框架(3)和弹性线(4)，其特征在于固定框架(3)含有切口(8)，在固定框架(3)相对平行的两框外侧分别置有结构、形状和大小完全相同的两个定位柱(2、6)，定位柱(2、6)上带有相互平行的等间距的定位槽(2602)和分布在定位柱(2、6)两端的顶紧螺丝(1)，在固定框架(3)上还分布有固定螺钉(5)和压紧螺钉(11)，弹性线(4)通过两定位柱(2、6)上的定位槽(2602)定位缠绕成平直线组构成掩膜线(7)。
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