[发明专利]液相原子力显微镜探头无效
| 申请号： | 03116763.2 | 申请日： | 2003-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1448958A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张冬仙;章海军;张虎 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G12B21/08 | 分类号： | G12B21/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探头 | ||
【主权项】：
1.一种液相原子力显微镜探头，其特征在于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统(2)、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统(1)，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03116763.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
