[发明专利]三维取向氧化锌薄膜的制备方法

摘要

一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法，首先将锌盐、氨水和铵盐按一定比例溶于去离子水，制备成薄膜生长反应液，然后将处理过的基片浸入制备好的薄膜生长反应液中，在预浸泡30～60分钟后，升温至94～97℃，反应30～60分钟即可获得致密的具有三维取向排列的氧化锌薄膜。本发明方法操作简单、成本低，生产周期短，制备的氧化锌薄膜由三维排列的微米棒组成，平均粒径为200nm，长度5μm。

主权项

1、一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：①薄膜生长反应液的制备：将锌盐、氨水和铵盐溶于去离子水，制备成薄膜生长反应液，每100ml水溶液中含锌盐0.01mol、25％(质量比)氨水5ml和铵盐0.002mol；②基片的预处理：将基片浸入到沸腾的98％的浓硫酸中5～10小时，然后浸入到丙酮溶液中超声30～60分钟，再用去离子水冲洗后将基片在真空烘箱中晾干待用。③三维取向氧化锌薄膜的合成：将基片浸润到薄膜生长反应溶液中30～60分钟，然后升温进行反应，反应温度94～97℃，升温速率10～20度/分，反应时间30～60分钟，反应结束后快速冷却，然后将基片放于去离子水中超声1～2分钟，用去离子水冲洗后自然晾干，即可获得三维取向氧化锌薄膜。