[发明专利]钛酸锶钡陶瓷靶的制备方法无效
| 申请号： | 03116802.7 | 申请日： | 2003-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1448368A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 张汝冰;杨春生;冯洁 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C04B35/465 | 分类号： | C04B35/465;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种钛酸锶钡陶瓷靶的制备方法属于材料领域。方法如下：先将四氯化钛、氯化锶、氯化钡分别配制成水溶液；将上述水溶液加入草酸水溶液中进行合成反应，控制pH值得到白色草酸氧钛酸锶钡沉淀；将沉淀洗涤、过滤、烘干后进行热分解即得钛酸锶钡复合粉粉末；将得到的钛酸锶钡粉末经预处理后按化学计量比配料，经球磨机球磨粉碎后，放于硅碳棒炉中预烧；将预烧好的粉末经球磨机再粉碎后，由液压机压成块材，并进行等静压成型；放于硅碳棒炉中最终烧结，得到钛酸锶钡陶瓷靶。本发明制备合成的钛酸锶钡粉体，具有高纯、超细、高均匀性和高活性，较好完全满足射频磁控溅射的要求，因此，本发明的钛酸锶钡陶瓷靶是一种很有应用前景的新型靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸锶钡 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种钛酸锶钡陶瓷靶的制备方法，其特征在于，方法步骤如下：(1)首先将四氯化钛、氯化锶、氯化钡分别配制成质量浓度分别为200-220g/L、180-190g/L和180-190g/L的水溶液；(2)然后将上述水溶液按照10-30％加入草酸水溶液中进行合成反应，控制PH值得到白色草酸氧钛酸锶钡沉淀；(3)将沉淀洗涤、过滤、烘干后进行热分解即得钛酸锶钡复合粉Ba1-xSrxTiO3粉粉末；(4)将得到的钛酸锶钡粉末经预处理后按化学计量比配料，经球磨机球磨粉碎后，放于硅碳棒炉中预烧；(5)将预烧好的粉末经球磨机再粉碎后，由液压机压成块材，并进行等静压成型；(6)最后放于硅碳棒炉中最终烧结，得到钛酸锶钡陶瓷靶。
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