[发明专利]接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器无效
| 申请号： | 03116999.6 | 申请日： | 2003-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1460863A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 朱荣锦;郭方敏;朱自强;李存诗;赖宗声 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01R31/327 | 分类号： | G01R31/327 |
| 代理公司： | 上海德昭专利事务所 | 代理人： | 程宗德 |
| 地址： | 200062*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器，属接触式MEMS开关器件测试技术领域，该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极，在该开关正常，即第一、二接触点间有开关动作时，计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数，直至该开关疲劳失效，即第一、二接触点间无开关动作时，计数器停止计数，显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标，该仪器由方波发生器10、脉冲幅度转换器20、测试架30、开关动作监视器40、二输入端与门50、七位十进计数器及显示器60、指示器70和电源80组成，有线路抗干扰性能好，结构简单，元器件通用，测试效率高，每测试一个开关，时间仅为2～3min等优点，本发明特别适于用来测试接触式MEMS开关的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 mems 开关 寿命 测试 方法 仪器 | ||
【主权项】：
1.一种接触式MEMS开关寿命测试的方法，其特征在于，利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极，在该开关正常，即第一、二接触点间有开关动作时，计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数，直至该开关疲劳失效，即第一、二接触点间无开关动作时，计数器停止计数，显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东师范大学，未经华东师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03116999.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种制备氢氧化四烷基铵的方法
- 下一篇：血栓心脉宁新的制备方法
