[发明专利]一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置无效
| 申请号： | 03118793.5 | 申请日： | 2003-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1442668A | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郭军;谢铁邦 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置，其中，非线性误差补偿单元包括特性相同的二个光电二极管，光电二极管关于杠杆对称放置，狭缝及光源与杠杆在同一平面内且关于杠杆对称；光程差细分判向计数电路的一端与干涉测量单元中的光电接收器相连，另一端与数据处理装置相连；绝对零位信号产生电路的一端与非线性误差补偿单元中的光电二极管相连，另一端与上述数据处理装置相连。采用该装置后可使原系统的精度从原有的2％提高到0.1％，系统实现简单，以极低的成本实现了系统精度的大幅度提升，并由此进一步扩大了该结构单元的应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 干涉 测量 单元 非线性 误差 补偿 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置，包括非线性误差补偿单元、绝对零位信号产生电路(15)、光程差细分判向计数电路(16)和设有光程差—位移查找表的数据处理装置(17)；非线性误差补偿单元包括特性相同的二个光电二极管(12)，光电二极管(12)关于杠杆(11)对称放置，狭缝(13)及光源(14)在杠杆(11)处于水平时与杠杆在同一平面内，且关于杠杆对称；光程差细分判向计数电路(16)的一端与干涉测量单元中的光电接收器(7)相连，另一端与数据处理装置(17)相连；绝对零位信号产生电路(15)的一端与非线性误差补偿单元中的光电二极管(12)相连，另一端与上述数据处理装置(17)相连。
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