[发明专利]用以显影液晶显示器的装置与方法无效

专利信息
申请号: 03119536.9 申请日: 2003-03-10
公开(公告)号: CN1453648A 公开(公告)日: 2003-11-05
发明(设计)人: 朴庸硕;韩占烈 申请(专利权)人: 显像制造服务股份有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30;B05B1/00;G02F1/1333
代理公司: 北京集佳专利商标事务所 代理人: 王学强
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种用以显影大尺寸液晶显示器装置与方法。上述装置包括一条形显影剂喷嘴以及一条形显影剂吸嘴。上述条形显影剂喷嘴被安装在离一基底一预定距离之处并且喷涂显影剂在上述基底之上。上述条形显影剂吸嘴与上述条形显影剂喷嘴的一侧保持一预定距离,并以真空状态来收集由上述显影剂喷嘴所喷涂的显影剂,且清除所喷涂的显影剂。因此,可将上述装置与方法应用至清洗工艺、剥离工艺、显影工艺以及蚀刻工艺。
搜索关键词: 用以 显影 液晶显示器 装置 方法
【主权项】:
1.一种用以显影一液晶显示器的装置,其特征是,该装置包括:一条形显影剂喷嘴,该喷嘴被安装在离一基底一预定距离之处并且喷涂一显影剂在该基底之上;以及一条形显影剂吸嘴,该吸嘴与该显影剂喷嘴的一侧保持一预定距离,并以一真空状态来收集由该显影剂喷嘴所喷涂的该显影剂,且清除所喷涂的该显影剂。
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