[发明专利]静电电容式传感器

摘要

本发明涉及适用于2轴周围电容检测的静电电容式传感器，其目的在于获得大的电容变化。其结构具有：支承部(3a)，中间部(3b)，它由支承部(3a)进行支承，能在第1轴系中摆动；活动部(3d)，它由中间部(3d)进行支承，能在与上述第1轴相垂直的第2轴系中进行摆动；平衡锤(4)，它设置在上述活动部(3d)上；活动电极，它形成在上述活动部(3d)上；以及基板(1)，其上形成了与上述活动电极相对置的固定电极(1a)，上述活动电极和上述固定电极(1a)中的至少一种设置了多个，用于检测上述活动电极和上述固定电极(1a)之间的静电电容。

主权项

1、一种静电电容式传感器，其特征在于具有：支承部，中间部，它由支承部进行支承，能围绕第1轴摆动；活动部，它由中间部进行支承，能围绕与上述第1轴相垂直的第2轴进行摆动；平衡锤，它设置在上述活动部上；活动电极，它形成在上述活动部上；以及基板，其上形成了与上述活动电极相对置的固定电极；上述活动电极和上述固定电极中的至少一方设置了多个，根据上述活动部的动作，来改变上述活动电极和上述固定电极之间的静电电容。