[发明专利]电浆蚀刻夹框的改良有效
| 申请号： | 03119947.X | 申请日： | 2003-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1530472A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 梁忠棋;张昭升;黄木上;彭顺煌 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/02 | 分类号： | C25F3/02;C25F7/00;H01L27/12;C03C19/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈桢 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种电浆蚀刻夹框的改良，其是由框壁所围组而成的夹框，顶部与底部俱为开放端，且其尺寸不小于工作件的尺寸，底部则设升降连结装置；夹框围套工作件，当升降连结装置连结于升降装置并为升降时，改变夹框与工作件的空间，进而改变其内的电浆离子浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 改良 | ||
【主权项】：
1、一种电浆蚀刻夹框的改良，其特征在于，其是由框壁所围组而成的夹框，顶部与底部俱为开放端，且其尺寸不小于工作件的尺寸，底部则设升降连结装置；夹框围套工作件，当升降连结装置连结于升降装置并为升降时，改变夹框与工作件的空间，进而改变其内的电浆离子浓度。
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