[发明专利]薄膜压电元件及其制造方法和使用该压电元件的执行元件有效
| 申请号： | 03120000.1 | 申请日： | 2003-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1445871A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 内山博一 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮,杨梧 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种薄膜压电元件及其制造方法和使用该薄膜压电元件的执行元件。在本发明的执行元件中，压电体膜由主电极膜和对向电极膜夹着的第一及第二结构体分别形成在两个基板上。第一主电极膜2和第一对向电极膜5分别具有突出部211、511，第二对向电极膜15具有突出部151。具有对粘接上述两个结构体的结构体和突出部211及第二主电极膜12之间、以及突出部511与突出部151之间进行连接的连接配线9。这样，可提供可进行高精度位置控制的执行元件。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 及其 制造 方法 使用 执行 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜压电元件，至少包括：结构体，其中，第一压电薄膜由第一主电极膜和第一对向电极膜夹持，所述第一主电极膜和所述第一对向电极膜具有被引出到所述第一主电极膜成形面上的突出部，第二压电薄膜与所述第一压电薄膜呈镜面对称形状，由第二主电极膜和第二对向电极膜夹持，所述第二对向电极膜具有被引出到所述第二主电极膜成形面上的突出部，所述第一对向电极膜和所述第二对向电极膜对向粘接；绝缘树脂层，形成于所述结构体的外周部；连接配线，在所述绝缘树脂层上环绕，将所述第一主电极膜的突出部和第二主电极膜之间以及所述第一对向电极膜的突出部和所述第二对向电极膜的突出部之间电连接。
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