[发明专利]微影系统中反应负荷的管理方法、系统及设备有效
| 申请号： | 03120082.6 | 申请日： | 2003-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1447192A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·N·加尔伯特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱德强 |
| 地址： | 荷兰费尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 揭示一种微影系统中反应负荷的管理方法、系统及设备。一隔离结构被一非隔离结构支撑，此隔离结构则支撑着一移动台座。一线性马达包括第一线性马达组件及第二线性马达组件，此第一线性马达组件被连接到该移动台座上。藉由多数挠曲板而将第二线性马达组件安装在该隔离结构上，一挠曲杆系连接在隔离结构与第二线性马达组件之间。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 反应 负荷 管理 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微影系统，包含：一隔离结构，被一非隔离结构支撑，其中该隔离结构则支撑着一移动台座；一线性马达，包括第一线性马达组件及第二线性马达组件，其中该第一线性马达组件被连接到移动台座上；多数挠曲板，用以将该第二线性马达组件安装在该隔离结构上；及一挠曲杆，被连接在该非隔离结构与该第二线性马达组件之间。
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