[发明专利]气密室连接管线的贯通结构、有该结构的装置及其制法无效
| 申请号： | 03120454.6 | 申请日： | 2003-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1445089A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 高野丰;中村真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/00 | 分类号： | B41J2/00;G02F1/00;H01J9/00;G02B5/00;G02B3/00;G03F7/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够可靠地密封气密室的壁体和贯通壁体的连接管线之间的气密室中的连接管线的贯通结构及具备这种贯通结构的排出装置。是在使连接收容在气密室(31)中的加工处理装置(2)和它的附属装置(4)的连接管线(6)贯通气密室(31)的壁体(33)的连接管线(6)的贯通结构中，具备：在连接管线(6)插通内部的同时贯通壁体(33)的贯通套管(61)；填充在贯通套管(61)的内部、密封贯通套管(61)和连接管线(6)之间的第1密封材料(63)；以及密封贯通套管(61)和壁体(33)之间的第2密封材料(64)。 | ||
| 搜索关键词： | 密室 连接 管线 贯通 结构 装置 及其 制法 | ||
【主权项】：
1、一种气密室中的连接管线的贯通结构，在由连接收容在气密室中的加工处理装置与它的附属装置的管道及/或者布线组成的连接管线的、贯通所述气密室的壁体的气密室中的连接管线的贯通结构中，其特征在于：具备：在连接管线插通内部的同时，贯通所述壁体的贯通套管；填充在所述贯通套管的内部、密封所述贯通套管和所述连接管线之间的第1密封材料；以及密封所述贯通套管和所述壁体之间的第2密封材料。
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