[发明专利]稳流控制装置无效
| 申请号： | 03120926.2 | 申请日： | 2003-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1532657A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 张卫;龚光祥;左祥顺 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00;G05D7/01;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京连城创新专利代理有限公司 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稳流控制装置，机、电结合，可控制气体流量的稳定性。它在普通的电磁调节阀(14)中增加了一个二次调节阀(8)，二次调节阀(8)由阀腔(3)、压力腔(11)、膜片(10)、密封垫(9)、弹簧(7)、阀口(6)组成。利用膜片(10)两侧的压力差对膜片(10)的影响，推动密封垫(9)移动，从而控制阀的开度，使阀口(6)输出的气体流量稳定。采用这种稳流控制装置的质量流量控制器，可提供微观层面的稳定流量，适于气相色谱仪、微电子工艺设备等对流量微观稳定性具有较高要求的场合。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种稳流控制装置，包括气源输入通道、电磁调节阀、输出通道，其特征在于：它还包括一个与电磁调节阀(14)相连的二次调节阀(8)，该二次调节阀包括阀腔(3)、阀口(6)、固定在阀腔(3)壁上的膜片(10)、与膜片(10)相连接的密封垫(9)、弹簧(7)，所述膜片(10)一侧有一个与气源输入通道(13)相通的压力腔(11)，另一侧有一个与电磁调节阀输出室(1)相通的阀腔(3)，阀腔(3)中装有密封垫(9)和弹簧(7)，阀腔(3)与阀口(6)相通，所述弹簧(7)一端与密封垫(9)相抵，另一端与阀口座(5)固定。
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