[发明专利]多阶母盘刻录的控制方法及刻录用的激光器驱动装置无效
申请号: | 03121143.7 | 申请日: | 2003-03-28 |
公开(公告)号: | CN1460997A | 公开(公告)日: | 2003-12-10 |
发明(设计)人: | 徐端颐;范晓冬;齐国生;钱坤;佘鹏;蒋培军 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G11B7/0045 | 分类号: | G11B7/0045;G11B7/125;G11B7/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 多阶母盘刻录的控制方法及刻录用的激光器驱动装置,属于母盘刻录中的微细工程技术领域。其特征在于,本控制方法是在传统的二阶母盘刻录控制方法的基础上,增加了多阶功率的选通控制和多阶功率的大小稳定控制,本发明还根据该控制方法设计了激光器驱动装置,它采用了一个能实现多阶功率选通和调节的驱动电路,该驱动电路含有一个由三极管电阻网络和差分运算放大器构成的功率选通调节电路和一个功率放大电路。本控制方法能够有效控制在母盘上进行的多阶刻录,本激光器驱动装置能够改变流过激光器的电流,使激光器发出不同功率的激光,从而在母盘感光层上刻录下不同灰度的信号,实现多阶刻录。 | ||
搜索关键词: | 母盘 刻录 控制 方法 激光器 驱动 装置 | ||
【主权项】:
1、多阶母盘刻录的控制方法,其特征在于,它含有在计算机中进行的以下步骤:1)给定加工信息:刻录位置极坐标(ρz,θz):刻录轨迹依次为(ρ0,θ0),(ρ1,θ1)…(ρz,θz),其中(ρ0,θ0)为初始位置,(ρz,θz)为终止位置;每一刻录位置对应的功率值Pz:按刻录位置依次为P0、P1…Pz;每一刻录位置应进行刻录的时间tz,按刻录位置依次为t0,t1…tz;沿母盘上刻录轨迹的恒线速度V;母盘上刻录轨迹的道间距a;变量设定:设激光干涉仪检测到的工作台的实际位置坐标为(ρz’,θz’);工作台的实际转速ωz’=(θz’-θz+1’)/T,工作台的实际平动速度Vrz’=(ρz’-ρz+1’)/T,其中(ρz+1’,θz+1’)是激光干涉仪检测到的工作台的下一位置坐标;T是激光干涉仪的检测周期;设工作台到达位置(ρz’,θz’)时设计的转速为ωz=V/ρz’,设计的平动速度为Vrz=aV/(2πρz’);设功率探测器检测到的实际功率值为Pz’;2)获取激光干涉仪检测到的工作台实际位置坐标(ρz’,θz’)后,同时进行2.1)步和2.2)步:2.1)工作台的速度调节:2.1.1)获取激光干涉仪检测到工作台的下一位置坐标(ρz+1’,θz+1’),计算工作台的实际转速ωz’,工作台的实际平动速度Vrz’;计算工作台的设计转速ωz和设计的平动速度Vrz,将ωz’和ωz进行比较,将Vrz’和Vrz进行比较,并以ωz和Vrz为准,通过调节工作台的转动电机和平动电机,使ωz’=ωz,Vrz’=Vrz,以维持沿母盘上刻录轨迹的线速度V恒定;2.1.2)继续通过激光干涉仪获取工作台的下一位置坐标,进行转速和平动速度的调节,以维持沿母盘上刻录轨迹的线速度V恒定;2.2)刻录过程:2.2.1)当工作台的实际位置(ρz’,θz’)与加工信息中的相应位置(ρz,θz)一致时,调出该位置对应的功率值Pz,和该位置对应的刻录时间tz,设定激光器功率为Pz,打开激光器;2.2.2)获取功率探测器检测到的实际功率值Pz’,以设定功率值Pz为准,调节激光器的功率值Pz’,使Pz’=Pz,以保持功率值Pz的稳定;2.2.3)进行调焦,焦距调准后进行刻录,刻录时间为tz;2.2.4)判断该刻录位置(ρz’,θz’)是否是最终位置(ρz,θz),若是,则刻录完毕,结束;若不是,则刻录未完毕,返回第2.2.1)步,准备进行下一次刻录。
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