[发明专利]近场光学阶梯型纳米孔径激光器

摘要

近场光学阶梯型纳米孔径激光器，属于近场光学、纳米技术领域。为了克服已有纳米孔径激光器技术的输出功率低，不能满足实际使用要求的不足，本发明公开了一种阶梯型纳米孔径激光器，激光器出射表面镀有能形成纳米孔径的膜层，所述膜层上具有一个纳米尺寸的出射孔径，纳米出射孔径的尺寸从所述膜层的入射表面向出射表面呈阶梯型的逐渐减小，直到在所述膜层的出射表面形成一个亚波长的小孔。本发明的通光效率与输出光强极大值在具有相同近场光斑尺寸的情况下，较普通纳米孔径激光器提高了10～10⁴倍，大大提高了输出光功率。本发明可作为纳米近场光学有源探针用于纳米尺度近场光学成像、光谱探测、数据存储、光刻、光学操作等。

主权项

1.近场光学阶梯型纳米孔径激光器，所述激光器出射表面镀有能形成纳米孔径的膜层，所述膜层上具有一个纳米尺寸的出射孔径，其特征在于：所述纳米出射孔径的尺寸从所述膜层的入射表面向出射表面呈阶梯型的逐渐减小，直到在所述膜层的出射表面形成一个亚波长的小孔。