[发明专利]驱动装置、曝光装置及器件制造方法有效
| 申请号： | 03122043.6 | 申请日： | 2003-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1453637A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 関口浩之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的为使伴随物体的驱动的力矩反力受到抵消或使其影响减小。本发明的驱动装置具备在X方向上驱动物体(XY滑板等)的第1执行装置，在Y方向上驱动物体的第2执行装置，以及控制第1及第2执行装置的控制单元。第1及第2执行装置，分别具有承受驱动物体时的反力而移动的反力平衡体。控制单元，通过控制第1及第2执行装置使在A点上静止的上体移动到B点静止时，使物体在连接A点和B点的直线上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 曝光 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种驱动装置，使物体沿着导向面在X方向及Y方向上移动，包括：在X方向上驱动上述物体的第1执行装置；在Y方向上驱动上述物体的第2执行装置；以及控制上述第1及第2执行装置的控制单元；上述第1及第2执行装置，具有承受驱动上述物体时的反力而移动的反力平衡体；上述控制单元，通过控制上述第1及第2执行装置使在第1位置上静止的上述物体移动到第2位置静止时，使上述物体在连接上述第1位置和上述第2位置的直线上移动。
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