[发明专利]检测平板显示器的显微镜无效
| 申请号： | 03122128.9 | 申请日： | 2003-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1451988A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 赵载成;朴根鲁 | 申请（专利权）人： | 株式会社显像制造服务 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测一种平板显示器的显微镜。所述的显微镜包括至少一个执行旋转和平移运动的显微镜单元。相应地，可能减少显微镜检测基板的整个表面而不得不移动的距离和检测基板所必需的时间。因为一个透明盖在显微镜单元和基板之间延伸，在显微镜单元的旋转运动中出现的微粒就会聚集在透明盖上。因此，可能防止基板的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 平板 显示器 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种检测平板显示器的显微镜，包括一个显微镜模块，其特征在于：带有一个镜筒和一个连接单元的显微镜模块通过所述的连接单元安装在一个支架上，为了快速检测平板显示器的整个表面的显微镜包括：一个平移驱动单元，所述的平移驱动单元驱动显微镜模块来执行平移或往复运动；和一个旋转驱动单元，所述的旋转驱动单元驱动显微镜单元执行旋转运动。
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