[发明专利]在基板上形成图案化薄膜导电结构的方法

摘要

本发明披露了一种在基板上形成图案化导电结构的方法。在基板上用材料(如遮蔽涂料或油墨)印刷图案，该图案是这样的以致于，在一个具体实施例中，所需要的导电结构将在印刷材料不存在的区域形成，即印刷待形成的导电结构的负像。在另一个具体实施例中，用难以从基板上剥离的材料印刷图案，并且所需要的导电结构将在印刷材料存在的区域形成，即印刷导电结构的正像。该导电材料沉积在图案化基板上，并且剥离不想要的区域，留下图案化电极结构。

主权项

1.一种在基板上形成图案化导电薄膜结构的方法，包括：在所述基板上印刷由可印刷可剥离材料组成的图案，所述印刷的可剥离材料在所述基板上限定区域，其中所述导电薄膜结构通过包括其负像而制成，从而所述印刷的可剥离材料存在于所述基板上的未形成所述导电薄膜结构的区域中，且所述印刷的可剥离材料基本上不存在于所述基板上的待形成所述导电薄膜结构的区域中；在所述图案化基板上沉积导电材料的薄膜；以及从所述基板剥离所述可剥离材料；由此通过所述剥离步骤除去所述可剥离材料和在其上形成的任何导电材料，留下所述导电薄膜结构。