[发明专利]一种基片上材料数量可控的投放方法有效
| 申请号： | 03122376.1 | 申请日： | 2003-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1460559A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 许汉超;林永辉;麦家仪;邹文礼 | 申请（专利权）人： | 先进自动器材有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于在基片上投放材料的装置和方法。该装置包括一具有投放器的投放系统，以及控制系统，该控制系统适于调节投放在基片上的材料数量。装置还包括一图像俘获系统，其适于获取该投放在基片上材料的图像，一用于分析该图像并测量该投放材料数量的测量系统，以及一校正系统，其适于将校正信号提供给该控制系统以改变投放材料的数量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基片上 材料 数量 可控 投放 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于将材料投放在基片上的装置，其包含：一投放系统，其具有一投放器；一控制系统，其适于调节一定数量的材料投放到基片上；一图像俘获系统，其适于获取投放基片上材料的图像，以及一测量系统，其分析所述图像并测量投放材料的数量；以及一补偿系统，其适于为控制系统提供校正信号以改变投放材料的数量。
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