[发明专利]用于防止光学检查中错误检测的系统和方法无效
| 申请号： | 03122580.2 | 申请日： | 2003-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1472528A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 崔铉镐;柳根洪;炳铉镐 | 申请（专利权）人： | 崔铉镐 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/86;G01N21/88 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张天舒;顾红霞 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明在此公开了一种用于防止光学检查中错误检测的系统和方法，防止由落在基底图案引线上或引线间的杂质、灰尘等等引起的错误检测，基底是用在制造各种半导体集成电路(ICs)中的主要部件部分。该方法包括如下步骤，如果在图案的透射光图象中检测到可疑短路部分和/或可疑突起，通过将图案的透射光图象与图案的参考图象进行比较，以及通过检查反射光图象中具有图案引线间可疑短路部分和/或图案引线可疑突起的可疑部分，来确定图案是否有缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 防止 光学 检查 错误 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种防止在光学检查具有微小图案的基底中错误检测的方法，包括下列步骤：如果在图案的透射光图象中检测到可疑短路部分和/或可疑突起，通过将图案的透射光图象与图案的参考图象进行比较，并检查反射光图象中具有图案引线间可疑短路部分和/或图案引线可疑突起的可疑部分，来确定图案是否有缺陷。
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