[发明专利]能保持薄膜平面度的薄膜夹紧装置无效
申请号: | 03122581.0 | 申请日: | 2003-04-21 |
公开(公告)号: | CN1477692A | 公开(公告)日: | 2004-02-25 |
发明(设计)人: | 崔铉镐;柳根洪;炳铉任 | 申请(专利权)人: | 崔铉镐 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/66;B25B11/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 张天舒;顾红霞 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了能夹紧薄膜同时保持薄膜平面度的薄膜夹紧装置。薄膜夹紧装置包括可旋转地安装在薄膜夹紧装置中的固定单元、驱动电机单元、移动单元、夹具旋转装置、夹具单元以及张力调整单元。薄膜夹紧装置有效地夹紧薄膜同时在夹紧的薄膜的检查区中保持薄膜平面度而不损坏薄膜或在薄膜上留下任何弯曲或波纹,从而允许薄膜检查装置的照相机在夹紧的薄膜上形成精确地光学聚焦,从而最小化由在弯曲或波纹部分产生的失真图象引起的检查误差,进而最小化弯曲或波纹部分导致自动薄膜检查过程中出现的聚焦误差。薄膜夹紧装置最好用在通过使用照相机检查薄膜或带状型基底,如TAB和COF的过程中。 | ||
搜索关键词: | 保持 薄膜 平面 夹紧 装置 | ||
【主权项】:
1.一种能保持薄膜平面度的薄膜夹紧装置,包括:固定单元,包括:垂直放置的第一平板,具有导轨,导轨在所述第一平板的表面上沿第一平板的每个侧边缘,在垂直方向中向下延伸;以及沿第一平板的上边缘垂直延伸的第二平板,具有沿所述第二平板的外边缘形成的纵向孔,以及沿所述第二平面的外边缘延伸同时从所述外边缘向下凸出的第一接触轨;驱动电机单元,包括:电机,具有第一离合器并在预定部分安装在所述第二平板的上表面上;以及第一转轴,从所述电机的第一离合器向下垂直延伸,同时穿过第二平板,具有在所述第一转轴的外表面上形成的第一外螺纹,以及在所述第一转轴的下端提供的第一伞齿轮;移动单元包括:第一和第二框架,在第一平板的两个侧边缘周围的位置处与所述第二平板的下表面平行地水平延伸,具有在所述第一框架中形成的第一通孔以便容纳第一转轴,以及在所述第二框架中形成的第二通孔;以及第三框架,使第一和第二框架彼此连接,具有沿所述第三框架的外边缘形成同时向上凸出以便面对所述第一接触轨的第二接触轨;夹具旋转单元,包括:第一和第二夹具旋转杆,具有相同的形状,并且利用多个支撑块分别可旋转地安装在所述第二平板的外边缘的上表面和所述第三框架的下表面下;以及第一和第二圆柱形致动器,分别在第一和第二夹具旋转杆端部提供,以便旋转所述第一和第二夹具旋转杆;夹具单元,包括:多个夹具块,具有相同的形状并且安装到所述第一和第二夹具旋转杆以便将薄膜边缘压向所述第一和第二接触轨从而夹紧薄膜;及张力调整单元包括:旋转致动器,具有第二离合器并在预定部分安装在第二平板的上表面上;第二转轴,从旋转致动器的第二离合器垂直向下延伸,同时顺序穿过第二平板以及第二框架的第二通孔,具有在所述第二转轴的外表面上形成的第二外螺纹,以及在所述第二转轴的下端提供的第二伞齿轮;以及联接轴,在其两端提供分别与所述第一和第二伞齿轮啮合的第三和第四伞齿轮,以便与第一和第二伞齿轮一起旋转。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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