[发明专利]通孔填充方法无效
申请号: | 03122606.X | 申请日: | 2003-01-15 |
公开(公告)号: | CN1444437A | 公开(公告)日: | 2003-09-24 |
发明(设计)人: | 土田秀树;日下大 | 申请(专利权)人: | 希普雷公司 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 郭建新 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种通孔填充方法,其中在薄镀后,施加1-50毫秒的正向电解时间和0.2-5毫秒的反向电解时间为一个周期的PPR电流,直到表示正向电解电流密度与反向电解电流密度的比值的F/R比值为至少1/0.2并小于1/1为止。 | ||
搜索关键词: | 填充 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用金属填充通孔的方法,包括下列步骤:薄镀,然后施加正向电解时间为1-50毫秒和反向电解时间为0.2-5毫秒作为一个周期的PPR电流,使表示正向电解电流密度与反向电解电流密度的比值的F/R比值为1/0.2至1/1。
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