[发明专利]CVD用原料化合物以及钌或钌化合物薄膜的化学气相蒸镀方法

摘要

本发明涉及以有机钌化合物为主要成分的CVD用原料化合物。该有机钌化合物在钌上配位有2个β－二酮类，还配位有二烯类、二胺类或2个有机配位体。在本发明中，通过规定配位的β－二酮类的碳原子数和二烯类等的种类，使有机钌化合物的蒸气压较为理想。

主权项

1.CVD用原料化合物，所述化合物以有机钌化合物为主要成分，其特征在于，前述有机钌化合物如下式1所示，它是在钌上配位有2个β-二酮类和1个二烯类的有机钌化合物，式1结构式中，β-二酮类的取代基R1、R2是烷基，R1、R2中所含的碳原子数合计为3～5个，构成二烯类的有机基团R3、R4、R5可相互连结成环。