[发明专利]低噪声双极结型光敏场效应晶体管及制作方法无效

专利信息
申请号: 03123140.3 申请日: 2003-04-17
公开(公告)号: CN1538532A 公开(公告)日: 2004-10-20
发明(设计)人: 金湘亮;陈杰 申请(专利权)人: 中国科学院微电子中心
主分类号: H01L31/10 分类号: H01L31/10;H01L27/14;H01L31/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汤保平
地址: 10002*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明一种低噪声双极结型光敏场效应晶体管,包括:一N型的半导体硅基衬底;一导电沟道为P型导电沟道,该P型导电沟道制作在N型的半导体硅基衬底上;一注入多数电子的N+区,该注入多数电子的N+区制作在P型导电沟道的一侧;一注入多数电子的N+区构成光电二极管,该注入多数电子的N+区构成光电二极管制作在导电沟道为P型导电沟道的中间;一注入多数空穴的P+区,该为注入多数空穴的P+区制作在导电沟道为P型导电沟道的另一侧。
搜索关键词: 噪声 双极结型 光敏 场效应 晶体管 制作方法
【主权项】:
1、一种低噪声双极结型光敏场效应晶体管,其特征在于,包括:一N-型的半导体硅基衬底;一导电沟道为P型导电沟道,该P型导电沟道制作在N-型的半导体硅基衬底上;一注入多数电子的N+区,该注入多数电子的N+区制作在P型导电沟道的一侧;一注入多数电子的N+区构成光电二极管,该注入多数电子的N+区构成光电二极管制作在导电沟道为P型导电沟道的中间;一注入多数空穴的P+区,该为注入多数空穴的P+区制作在导电沟道为P型导电沟道的另一侧。
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