[发明专利]低噪声双极结型光敏场效应晶体管及制作方法无效
申请号: | 03123140.3 | 申请日: | 2003-04-17 |
公开(公告)号: | CN1538532A | 公开(公告)日: | 2004-10-20 |
发明(设计)人: | 金湘亮;陈杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子中心 |
主分类号: | H01L31/10 | 分类号: | H01L31/10;H01L27/14;H01L31/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 10002*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明一种低噪声双极结型光敏场效应晶体管,包括:一N-型的半导体硅基衬底;一导电沟道为P型导电沟道,该P型导电沟道制作在N-型的半导体硅基衬底上;一注入多数电子的N+区,该注入多数电子的N+区制作在P型导电沟道的一侧;一注入多数电子的N+区构成光电二极管,该注入多数电子的N+区构成光电二极管制作在导电沟道为P型导电沟道的中间;一注入多数空穴的P+区,该为注入多数空穴的P+区制作在导电沟道为P型导电沟道的另一侧。 | ||
搜索关键词: | 噪声 双极结型 光敏 场效应 晶体管 制作方法 | ||
【主权项】:
1、一种低噪声双极结型光敏场效应晶体管,其特征在于,包括:一N-型的半导体硅基衬底;一导电沟道为P型导电沟道,该P型导电沟道制作在N-型的半导体硅基衬底上;一注入多数电子的N+区,该注入多数电子的N+区制作在P型导电沟道的一侧;一注入多数电子的N+区构成光电二极管,该注入多数电子的N+区构成光电二极管制作在导电沟道为P型导电沟道的中间;一注入多数空穴的P+区,该为注入多数空穴的P+区制作在导电沟道为P型导电沟道的另一侧。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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