[发明专利]酚醛清漆树脂溶液、正型光致抗蚀剂组合物及其调制方法无效
| 申请号： | 03123145.4 | 申请日： | 2003-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1453639A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 大西启之;中川裕介;土井宏介 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种调制的抗蚀剂组合物具有保存稳定性且没有批间特性差异抗蚀剂组合物及其调制方法，即，将酚醛清漆树脂溶解在有机溶剂中而成的酚醛清漆树脂溶液中配合苯醌所形成的酚醛清漆树脂溶液；含所述酚醛清漆树脂溶液和感光性成分而成的正型光致抗蚀剂组合物；含所述酚醛清漆树脂溶液、感光性成分、氢醌而成的正型光致抗蚀剂组合物；及混合所述酚醛清漆树脂溶液和感光性成分的正型光致抗蚀剂组合物的调制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 酚醛 清漆 树脂 溶液 正型光致抗蚀剂 组合 及其 调制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种酚醛清漆树脂溶液，其特征在于，在酚醛清漆树脂的有机溶剂溶液中配合有苯醌。
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