[发明专利]布局数据的保存方法、布局数据变换装置以及图形验证装置

摘要

本发明可获得：具有可比较简单地检验基本要素数据规定的图形的变更等对全体的影响的结构的布局数据的保存方法。根据下层单元数据(或者基本要素数据)具有表示被直接参考的上一层单元数据的母单元信息，将应该规定为逆层次结构的布局数据保存。也即，基本要素数据figD1，figD2同时将单元数据cell2作为母单元信息，基本要素数据figD3～figD5同时将单元数据cell3作为母单元信息，单元数据cell3将两个同一单元数据cell2、cell2作为母单元信息，单元数据cell2将3个同一单元数据cell3、cell3、cell3作为母单元信息。

主权项

1.一种布局数据的保存方法，包括：多个基本要素数据，其各自直接规定形成半导体装置的构成要素的布局图案的图形；多个单元数据，其以层次结构构筑成可最终参考所述基本要素数据；其特征在于，与表示分别被所述多个基本要素数据以及所述多个单元数据直接参考的上层单元数据的信息即母单元信息相关联，以由从下层到上层的逆方向规定所述层次结构的形式保存。