[发明专利]具有用于传输衬底的夹具的传输装置无效
| 申请号： | 03123290.6 | 申请日： | 2003-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1455444A | 公开（公告）日： | 2003-11-12 |
| 发明（设计）人： | 多米尼克·哈特曼;雷多·舒比格 | 申请（专利权）人： | ESEC贸易公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;B25B11/00;H01L21/50;B23K31/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有用于传输衬底(3)的夹具(2)的传输装置(1)。所述夹具(2)包括一个板(4)，真空夹子(5)磁性吸附在该板下侧。所述板(4)最好由钢制成，每个真空夹子(5)具有一个永磁体(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 传输 衬底 夹具 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有用于传输衬底(3)的夹具(2)的传输装置(1)，由此所述夹具(2)具有能被施加真空的几个真空夹子(5)，其特征在于，所述夹具(2)具有一个板(4)，而所述真空夹子(5)磁性固定到所述板(4)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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