[发明专利]音叉型压电振荡片及其制造方法，压电器件

摘要

音叉型水晶振荡片(14)是这样构成的，通过湿蚀刻其水晶晶轴的Y轴、X轴和Z轴对应于振动臂(16a)、(16b)的长度方向、宽度方向和厚度方向而定向的水晶基板，振动臂的主平面上设置有长度方向的槽(18a)、(18b)，该槽是这样设置的：中心线C1相对于振动臂的中心线C2，在－X方向上彼此，振动臂宽度方向的左右刚度被平衡，振动臂的弯曲运动被稳定。在音叉型压电振荡片的制造工序，光掩膜位置错位导致的振动臂上下主平面(17a)、(17b)宽度方向的位置错位，在振动臂的宽度方向的断面上，在其厚度方向被2等分的上侧和下侧部分的重心M1、M2被调整在与主平面垂直的同一直线上，通过对槽(18a)、(18b)在宽度方向相对位置的调整，由于振动时振动臂厚度方向的位移被消除、抑制，由振动泄漏产生的失真能量损耗被防止。由抑制CI值提高其性能，实现了高稳定性。

主权项

1.一种音叉型压电振荡片，其特征在于，由具有在规定方向蚀刻各向异性的压电材料形成，其具有从基部延伸出1对振动臂；和由在所述各振动臂的内外主平面上设置的第1电极及在其侧面上设置的第2电极形成的驱动电极；在所述振动臂的至少一个所述主平面上，设置有沿着该振动臂的长度方向延长的槽，该槽是这样设置的：使得在其宽度方向上，其中心线相关于所述振动臂的中心线，在与所述蚀刻各向异性的规定方向相反侧上彼此错开，而且，所述至少一个所述主平面上设置的所述第1电极是由在所述槽的侧面形成的电极膜形成的。