[发明专利]基于夹固振膜结构的微声学器件及其制作方法无效
| 申请号： | 03124224.3 | 申请日： | 2003-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN1452434A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 任天令;刘理天;杨轶;张林涛 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H04R7/02 | 分类号： | H04R7/02;H04R7/16;H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 基于夹固振膜结构的微声学器件及其制作方法，涉及一种微声学器件的结构设计。该器件由硅衬底和设置在其上的复合膜构成，所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧层、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸铅铁电薄膜层、金属铂上电极层、等离子化学气相淀积的二氧化硅层、金属铝引线层，该复合膜的四周与硅衬底固结在一起。本发明由于采用了四周夹固的振膜结构，并通过优化设计膜层的尺寸，因而有效克服了微声学器件悬臂振膜结构存在的缺陷，具有结构坚固、性能可靠、成品率高的突出性特点。测试表明，其声学灵敏度在10mV/Pa量级，能够满足移动电话、助听器和其他数字通讯系统音频应用的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 夹固振 膜结构 声学 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于夹固振膜结构的微声学器件，由硅衬底和设置在其上的复合膜构成，其特征在于：所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧化的二氧化硅层、低压化学气相淀积的氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸铅铁电薄膜层、金属铂上电极层、等离子增强化学气相淀积的二氧化硅层、金属铝引线层，该复合膜的四周通过底层的硅层与硅衬底固结在一起。
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